為搶攻國際節能商機，國研院儀科中心結合產學研能量，提升石墨烯應用於紫外光發光二
極體的製造技術，與美、日大廠並駕齊驅，估年產值將超過新台幣3.6億元。
環保意識高漲，未來5至10年內節能產品需求大增，其中可應用於農業用途、紙鈔識別、
樹脂硬化、特殊生醫用途的紫外光發光二極體 (UV-LED)市場前景看好，產業進入快速發
展期。
目前高功率 UV-LED 均使用氧化銦錫 (ITO) 做為透明導電膜，會發生散熱不良、電流分
佈不均等問題，影響其發光效率。
國家實驗研究院儀器科技研究中心 (儀科中心)「光學系統整合研發聯盟」主導結合全球
最大 LED 晶片廠晶元光電、國立中央大學薄膜技術中心等產學研三方能量，以更適合
LED 使用的透明電極材料石墨烯(graphene) 取代氧化銦錫，希望能克服 UV-LED 發光效
率降低的問題。
這項「開發電漿輔助高溫原子層沉積系統應用於紫外發光二極體」計畫，已取得科技部中
部科學工業園區管理局高科技設備前瞻技術發展計畫支持。
儀科中心表示，研究的關鍵技術包括讓約 600℃低溫製程的石墨烯可以直接在白金薄膜上
生成，以製作電極，及讓此電極可與 LED 的發光層完美結合。
本次合作初期將於晶元光電廠內進行測試與驗證，等技術成熟後，將委託儀科中心與中央
大學薄膜技術中心技術轉移於設備廠商，進行相關設備製造，建立我國設備自主開發能力
。
中央社
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