〈北部〉電子顯微鏡新裝置 清交合作獲獎
自由
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清華大學材料系游萃蓉教授，以「一種可用於電子顯微鏡樣品裝置結構及其製作方法」獲
得今年度國家發明獎銀牌，此專利技術可對其奈米成分進行液態穿透電顯觀察，有助未來
推動生技產業和奈米藥物開發。
游萃蓉表示，會進行此實驗是因好奇，就是想觀察活體，液體內生物是怎麼活動，由於目
前所使用解析度最高的影像分析儀器是穿透式電子顯微鏡，成像原理是藉由穿透電子束和
試片交互作用，故腔體內部需要高真空，因此一般活體和液體樣品無法在穿透式電子顯微
鏡下操作。
游萃蓉與博士班學生劉國良從微機電技術著手，與清大張晃猷、劉承賢教授和交大徐琅及
彭慧玲教授合作，經過嘗試及改良，終於研發出一種可觀測液體的裝置K-kit。
游萃蓉表示，此裝置是矽晶圓上沉積氧化矽薄膜，只要將此薄膜堆疊封裝，於其中填入欲
觀測樣品，透過高強度的氧化矽薄膜隔絕真空、保護樣品，就可維持樣品原始狀態，進而
觀察。
游萃蓉說，經與業界合作後，使用在半導體微機電技術商業化量產，六吋晶圓可製作數百
顆產品，不僅可大量生產降低成本，且這項產品為可拋式，不會造成樣品污染。