個人覺得 台積在半導體製造業最領先的技術 應該是黃光
半導體製程上千百道
photo/etch/PVD/CMP/CVD loop 循環不斷
裡面最能拿出來在世界舞台上展現的
就是當初蔣尚義找來的拍照高手-林本堅 提出的immersion 一台造價數千萬美金
到目前為止一直都是半導體最貴的機台
其他製程不敢說 就單純以黃光而言
林本堅如果說甘願當老二 那絕對沒有人敢站出來說自己是老大
當初林本堅 硬把ASML研發認為的下個世代的157nm計畫整個翻盤
http://sa.ylib.com/MagCont.aspx?PageIdx=1&Unit=featurearticles&Cate=&id=718&year=
雖然當初157nm卡住的問題很多 林本堅就是最後一根壓垮駱駝的稻草
逼得當時已經投入數十億美金的計畫就這樣停止
林本堅提出的 193nm immersion 成功的沿用到現在
而下一世代的EUV....碰到瓶頸可是比當初157nm卡的更大更多
前陣子台積把ASML的股票賣掉 個人解讀就是台積高層其實對ASML的EUV信心不大
不過林本堅與台積RD當然也不會就這樣閒在那邊
當然還是要為下一世代的黃光準備其他方法繼續往下探就是了