http://www.setn.com/News.aspx?NewsID=103219 三立
跟三星拼了！台積電打造綠園區 廢水分離年撈3億
記者許智雄、李宣／台中報導
面對外界對中科環保議題的抗爭，晶圓龍頭台積電以實際行動對環保貢獻心力，首度開放
排廢氣廠設備，這些不只可以將廢棄物還原無毒物質，還能為台積電賺錢，一年有超過3
億元進帳。
繃緊神經實施防火演習，這裡是台積電安控中心，因為出一點差錯可能就會讓台積電損失
上億元訂單。記者李宣：「看我戴著工程帽，就知道我今天來到台積電位在中科的15廠，
那麼這裡專門生產12吋晶圓，所生產出來的半導體廢棄物，都會經由我背後這些設備轉化
成為有用的回收物質，我們來看看台積電是怎麼辦到的，馬上帶你來直擊。」
為了消除外界對台積擴建十奈米製程廠房的環境影響，台積電首度開放空污排放設備，在
這裡呼吸的每一道空氣都經過過濾，台積電砸下22.6億元打造，將半導體製程所排放的廢
氣，分成六台技術專管分離之後，再一起進入洗滌塔。
記者李宣：「通常我們看到這種具有腐蝕性的酸鹼液體，我們都會感到非常的害怕，不過
台積電就有辦法把它點石成金。」看在台積電眼裡，這些廢硫酸加入鹽酸後，最後取出的
氨水可是很有價值的，賣到外頭化學處理廠，一年效益高達3億元。
台積電Fabs資深處長莊子壽說：「外面的是工業級的硫酸，就有很多化工廠會使用，那我
們自己也把處理過的廢硫酸跟氨氮的廢水做反應，得到硫酸銨，那價值更大，因為氨水可
以賣更多的錢。
把廢棄物變成有價值，台積電用這招「點石成金法」讓外頭的化學處理廠搶著做這門生意
，而10奈米製程趕在明年試產，台積電箭在弦上不得不發，解決危害環境雜音，也等於解
決訂單疑慮