台科大奈米管材質大突破 登國際期刊
奈米技術當紅，在太陽能電池、顯示器、生物檢測、燃料電池等各面項都可多元應用。台灣
科技大學研究團隊研發出非晶金屬玻璃合金的奈米管，是全球首次成功製造將排列整齊有序
的金屬奈米管陣列在矽晶圓上，獲刊登於頂尖國際期刊「今日材料」《Materials Today》
。
國際頂尖期刊「今日材料」《Materials Today》是由世界上最大學術期刊文獻出版社的愛
思唯爾( Elsevier)出版，是影響因子(Impact Factor)高達21.695的頂尖期刊，每年刊登材
料科學領域具突破性且高專業的研究論文約40篇，是世界上公認高影響因子權威期刊之一。
台科大校長廖慶榮表示，台科大研究團隊不僅能在重要的國際期刊上有突破性的研究成果，
更重要的是研究成果能有實務的應用價值，期待這些研究成果都能應用在民生相關的用途上
。
台科大研究團隊由材料系教授陳建光、朱瑾，應科所教授鄭智嘉，以及碩士生陳威廷、博士
生游家齊組成；研究團隊表示，奈米管大多為碳質或是陶瓷氧化物材料，且多為混亂排列結
構，如果要排列整齊的奈米管，其製程困難、繁瑣，且很難大面積化，因此嘗試使用不同的
材料應用在奈米管上，希望能讓半導體製程更有效率並降低成本。
台科大研究團隊利用非晶金屬玻璃的合金具有較高強度的特性，結合簡易的半導體微影製程
及濺鍍鍍膜方式，成功地製造排列整齊有序之金屬奈米管陣列在矽晶圓上，更難得的是，可
於0.5 X 0.5公分的晶圓上製造出逾2500萬支的金屬玻璃奈米管。
台科大材料系教授陳建光表示，研究團隊可藉由純熟、可量產、大面積化的半導體微影技術
，輕易調整奈米管的尺寸，此技術製程簡易且皆於常溫下進行，能製備在各種材質上，如矽
晶片、玻璃、聚合性高分子等。
台科大材料系教授朱瑾說，未來研究團隊期望將金屬玻璃奈米管陣列應用在生物感測晶片上
，能提供更快速更精準的檢測，更能解決傳統半導體矽奈米元件高成本及定量檢測不易的問
題，對於生物感測晶片之開發與製造將會有很大的突破，其應用更是廣泛與深遠。
http://www.chinatimes.com/realtimenews/20171205002790-260405