https://udn.com/news/story/7240/3157113 聯合報
摩爾定律出現重大突破 1.5奈米將成台積三星下個戰場
2018-05-23 01:57經濟日報 記者趙于萱、簡永祥／台北報導
摩爾定律出現重大突破。外資摩根大通最新報告表示，半導體設備廠艾斯摩爾（ASML）確
認1.5奈米製程的發展性，支撐摩爾定律延續至2030年。重量級分析師一致預期，台積電
與三星新一輪軍備競賽將開打，並以製程領先的台積電勝算較大。
摩爾定律是指半導體製程每18個月，就會推進一個世代。由於電晶體愈做愈小、電路線寬
愈來愈窄，幾乎已達到物理極限，一度引起業界憂心半導體先進製程將面臨無法繼續升級
的問題。
摩根大通科技產業研究部主管哈戈谷指出，艾斯摩爾更堅定摩爾定律可延伸至1.5奈米，
支持半導體產業至少發展至2030年。
此外，艾斯摩爾將在3奈米與更先進製程採用高數值孔徑（NA）光學系統；過去艾斯摩爾
為發展NA系統，收購德國卡爾蔡司子公司蔡司半導體。如今外資圈消息進一步證實，艾斯
摩爾將拓展3奈米以下技術。
異康集團暨青興資本首席顧問楊應超解讀，艾斯摩爾技術進展是半導體業一大突破，有利
整個大產業。而在7奈米製程已開打軍備競賽的台積電和三星，戰況將更激烈。
Substance Capital合夥人暨基金經理人陳慧明指出，台積電能維持產業龍頭地位，靠的
是製程不斷進步，因此艾斯摩爾開展1.5奈米製程，不僅有利台積電鞏固優勢，「對第一
名最有利」，也緩解市場原本擔憂，製程技術無法突破下，紅色供應鏈將迎頭趕上。
台積電規劃，導入極紫外光（EUV）的7奈米強化版會於明年量產；全數採用極紫光外光的
5奈米，則會在2020年量產。