中央社
培育EUV工程師 ASML全球技術培訓中心南科開幕
https://www.cna.com.tw/news/afe/202008200220.aspx
（中央社記者張榮祥台南20日電）荷蘭ASML（艾司摩爾）「EUV（極紫外光）全球技術培
訓中心」今天在南部科學園區開幕，配備實機模組及提供學術理論、無塵機實機操作等課
程，為半導體產業提供更完善的服務。
座落於南科的ASML「EUV全球技術培訓中心」今天開幕，經濟部長王美花也到場觀禮。目
前這座中心配置14名講師，預估每年可提供數千小時課程，同時為ASML及全球客戶培育
360名EUV技術工程師。
ASML發布新聞稿指出，ASML2010年提供第一台EUV微影設備原型給台積電進行研發工作，
開創全球微影技術新紀元，2017年ASML再交付第一台量產型EUV微影系統給台積電，寫下
商用EUV製程技術的新里程。
ASML在南科設立「EUV全球技術培訓中心」，不僅讓營運及服務更多元，也實現支援先進
製程開發與量產的承諾，同時以最精省時間和成本培育EUV工程師。（編輯：謝雅竹）