[問卦] 用電子束曝光能做到幾nm

作者: Max112358 (MAXCHEN)   2022-01-29 12:50:57
如題
台積電先進製程已經朝等效2nm前進
用的是EUV的曝光機
如果用波長更短的電子束來做晶片
不考慮成本問題
這樣可以做到等效幾奈米的晶片呢?
有沒有在台gg相關部門的人有卦

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