說真的啦
講GAA測試很難沒辦法確認良率什麼的
確實在那麼小到尺度下要檢查真的很難
但是反過來想一件事
只要良率夠高，其實不檢查也沒關係因為都會過
所以只要把GAA做到不會fail不就不用開發檢查設備了
以上想法請勿抄襲，GG請付我專利費
謝謝
※ 引述《pinkowa (pinkowa)》之銘言：
: ※ 引述《zxc17893 (手寫信才能被淚水打濕)》之銘言：
: : Guten Tag Damen und Herren
: : Es ist funfzig nach sechzehn
: : https://youtu.be/nG1ewXHy7Bs
: : 就餓死抬頭
: : 工研院在研發能檢查GAA結構型的半導體方法
: : 要用X光來檢驗但還沒研發成功
: : 那現行2nmGAA半導體的品保檢查辦法是什麼？
: : 卦？
: 我也蠻好奇的，
: 因為是GAA包在裡面。
: 那如果要檢查，
: 除了元件立體角轉90度側著放外，
: 大概應該沒辦法直接從上往下。
: 還有一種可能就是元件是透明的，
: 但這在砷化鎵才有見過。
: 不然一個元件要分好幾次製程檢測，
: 至於檢測大概也是用極紫外光。
: 至於電性測試，每個GATE都測，你要花多久?
: WAT還是拿來測RF元件比較有效率。
: IC設計上有個名詞叫可測性設計。
: CP、FT只是幫你規劃那些區可以保留。
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: 但X光應該是最不可能的，
: 因為X光的動能足以破壞晶體結構。