※ 引述 《twnail (沒有你，对我很重要)》 之銘言：
: 中國基礎工業、逆向工程 實力
: 我不相信都有DUV sample了
: 會做不出來EUV ??
: 　
: 花點時間1、2年 自製個EUV
: 對中國來說簡簡單單吧?☺
: 　
: 　
EUV這個東西肯定不是一兩年能做出來的。
不過還好，大陸做這個也不是一兩年了。
根據公開信息看，十幾年前就開始了EUV光源
等子系統研發了，而且是至少三種可能得技術
路線同時在多個研究所進行研究。公開資料里
上海光機所，長春光機所，哈工大，清華大學，
華中科技大學都在進行不同技術路線研究，而
且有至少三家做了原理樣機。
公開信息看，2017年EUV的原理樣機就做出
來了，但是距離工程化還有很大差距。
隨著中美貿易戰和技術戰的進行，中國科學院
和相關的企業對EUV的研發進度高度保密，但
今年有一個公開的新聞，就是中國科學院院長
白春禮去看EUV的工程樣機了。
所以說這個肯定是在研究的，但恐怕有商業
晶圓實用後，才會被外界知道。