1.媒體來源:
自由時報
2.記者署名:
〔記者洪瑞琴／台南報導〕
3.完整新聞標題:
半導體突破奈米 成大低成本研發埃米受矚目
4.完整新聞內文:
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成大材料系助理教授徐邦昱（右二）團隊最新的研發，讓半導體突破奈米等級，朝更微小的
埃米邁進，團隊成員由左至右為碩士生楊永平、何承泰、黃宇瀚及許子承。（成大提供）
2024/07/23 10:25
〔記者洪瑞琴／台南報導〕目前半導體製程主要是奈米等級，但產業界持續朝向更微小的「
埃米（奈米的 10 分之 1）」推進，國立成功大學材料科學及工程學系助理教授徐邦昱團隊
利用自行組裝的設備，發揮車庫創業精神，讓細小的半導體分子能自動整齊排列在奈米溝槽
內，可操作精度達到埃米等級，這項成果已發表在國際期刊，受到國際矚目。
研究成果發表在國際高分子領域的一流期刊 Macromolecules。團隊最自豪的是學生們靠著
自行組裝的便宜設備，研發最先進的技術。徐邦昱表示，在研發的過程中需要用到許多先進
儀器，但動輒上千萬元，在工學院與材料系的支持下，學生們以較少經費、自行動手組裝設
備。
團隊成員包括材料系碩士生，楊永平、何承泰、黃宇瀚及許子承，整個實驗室裡都是自行組
裝的設備，像是結合極低溫、微拉曼散射與可見光吸收3個系統的設備，市面上根本找不到
，即使有機會買到也要上千萬元，但團隊花了200萬元就組裝出來，而先進製程需要用到的
無光罩雷射微影系統，市售價格600到1000萬元，團隊則是花了20多萬元就組裝出。
徐邦昱表示，目前半導體製程主要是在微小的基板上，依靠相近的原子晶格，透過高真空磊
晶設備控制長出晶體，再蝕刻提昇精準度，要讓細小的分子乖乖聽話，長在該長的地方，很
不容易，因此才需要價格昂貴的設備，營造潔淨單純的反應環境。目前已達到小於3奈米（1
0億分之1公尺）的線寬精度，但持續推向埃米（10 埃米等於 1 奈米）精進，是產業的必然
，目前大家都在努力中。
徐邦昱說明，這項研究成果廣受國際注目的原因，在於打通了埃米級操作分子的多項技術瓶
頸，成功地大面積量化操作液相分子有序化磊晶。定量化控制複雜的分子間交互作用行為，
克服過往認為不可操作的分子運動，將材料的操作精度推進至埃米尺度。
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成大材料系助理教授徐邦昱的實驗室發揮車庫創業精神，滿是師生自行組裝的貴重設備。（
成大提供）
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成大材料系助理教授徐邦昱團隊最新研究成果，可看到細小的分子在埃米級電性趨動下整
齊排列（藍色圈中），其他是對照。（成大提供）
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