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1.媒體來源:
中時
2.記者署名:
12:382025/01/04 中時新聞網
吳美觀
3.完整新聞標題:
ASML天價EUV曝光機可買3架F-35 竟藏「1致命天敵」？
4.完整新聞內文:
半導體設備巨頭艾司摩爾（ASML）推出新一代高數值孔徑極紫外光（High NA EUV）曝光
設備，其價格昂貴程度令人咋舌，最高達3.7億美元（約台幣121億元），堪比三架F-35戰
鬥機的價格，但這台天價機器卻隱藏致命弱點，就是地震和牛隻放屁。
華爾街日報專欄作家柯恩（Ben Cohen）跟隨ASML工程師霍爾（Brienna Hall），深入了
解ASML精密設備的維護以及維修工程師的作業流程。
霍爾是ASML派駐美光的機械工程師，負責維護EUV曝光機。目前EUV單台價格約在1.7億至
3.7億美元不等。
柯恩指出，EUV曝光機堪稱現代工程奇蹟，它有兩點令人印象深刻：一是 ASML與德國光學
公司蔡司合作研發的鏡片，若將鏡片放大到與整個德國同等大小，整個鏡面的誤差不會超
過1公釐；二是EUV的精準度之高，相當於從房屋發射雷射光束，並在月球上打乒乓球。
ASML最先進的EUV設備客戶，包括台積電、英特爾和三星。據悉，台積電已於去年底在新
竹總部附近的研發中心安裝最新的High NA EUV曝光機，比競爭對手英特爾晚幾個月。
為確保這些價值連城的EUV機台正常運作，ASML聘僱上萬名工程師組成全球性後勤團隊協
助客戶。儘管有完善的支援，偶爾還是會發生突發狀況，對台積電而言，地震是主要的擔
憂，可能導致晶圓破裂，而英特爾則擔心風向變化。
英特爾先前調查曝光機產能異狀時，意外發現始作俑者竟是工廠外飼養的數百頭乳牛。原
來，鄰近農場牛群每天放屁產生大量甲烷，由於風向改變，甲烷通過空氣淨化器進入無塵
室，進而影響曝光機效能。英特爾吸取教訓，避免在牧場周邊興建晶圓廠。
柯恩強調，除了這類罕見事件外，曝光機故障率極低。若整個晶圓廠停擺，ASML已有備份
應急，世界各地均有工程師常駐，全力協助客戶能盡快恢復生產作業。
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