柯韓粉知道一堆晶圓廠都有辦法做出7nm嗎
但能不能賺錢是另一件事情
沒有一定的商業規模
成本是很高的，沒什麼人幫你攤
不過中國，韭菜多，沒差
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事實上，台積電前研發副總、浸潤式微影之父林本堅於2021年底就曾直言，儘管在多方箝
制下，中芯的技術至少可做到5奈米應沒問題，不一定非得要用高階昂貴的EUV設備技術才
能實現，此番言論也打破外界認為中芯在28與14奈米奈米止步的預測。
半導體業者也表示，DUV機台多用在成熟製程晶片生產，但先前三星、台積電也都有用在7
奈米製程世代，透過DUV的193奈米浸潤式ArF微影生產。台積電數年前就表示，7奈米製程
於2018年4月正式量產，第二代7奈米(N7+)技術於2019年上半量產，為業界首個商用EUV製
程技術。
但中芯若想迂迴以DUV多重曝光，來達到與EUV的13.5奈米波長等效，在整體成本與良率上
將付出高昂代價。
不過如林本堅所言，儘管製造困難與成本過高，中芯願意付、也付得起，只要能量產就是
一大成功，規模大小是另一回事，因此中芯即使在沒有EUV設備下，推進至5奈米應該還可
以，然此鉅額研發支出能撐多久，本土手機、AI晶片廠誰會大量採用都是問題。
現階段在美方嚴控下，中國半導體自主推進之路不時就將卡關，以ASML來說，雖是荷蘭企
業，但光源來自於美國Cymer，光學模組來自德國蔡司，計量設備來自美國，關鍵零組件
來自多國供應鏈採購，除了台積電外，ASML算是也身不由己的企業。
半導體設備業者就表示，除了台積電是大家的衣食父母外，中國半導體產業早已全球前十
大設備甚至所有設備材料廠的最大市場，美國政府可以箝制中芯等業者，但手段太過激烈
，除了引發全球政經動盪劇烈外，恐將適得其反，畢竟，眾多設備材料產業鏈都是美國大
廠所掌控，眾廠產品無法出口中國，營收恐將大跌。
中國發展半導體自主技術與國產化的意圖強勁，但在目前的箝制下，數年應也難進入先進
製程戰局。斷了中芯等中國大陸的EUV與DUV供應，實也斷了中國的晶圓自主製造目標，但
也斷了全球半導體設備材料產業鏈的龐大商機。