半導體製程技術服務:
1.Lithography:Resolution 4”wafer >2um;6”wafer >0.5um;8”wafer>0.18um
2.Thin Film:LTO、Cu、W、TiN、LTN、Thermal oxide
3.Etch:Oxide、Metal、Nitride、P.R. stripper…
4.CMP:oxide、Cu、W、TiN
5.Implant:4”B/P/As/Sb
晶片供應:
Material Size
Dummy wafer 4”、6”、8”
Si 4”、6”、8”
SiGe 4”、8”
Glass 4”
Quartz pattern wafer 4”
分析:
1.SEM(EDX)
2.AFM
設計服務:
Si Device Simulation
聯絡人:0933-979188 徐先生