DRAM大衝擊 美光廠遭汙染搶救中
記者簡永祥∕台北報導聯合報
DRAM大廠美光桃園廠區旗下N2晶圓廠因供應氮氣的氮化純化廠遭汙染，導致逾百台機台全
數遭到汙染，到昨天為止仍處於處工狀態。美光正全力搶救，但估計數萬片晶圓將報廢，
嚴重衝擊DRAM供應。
美光昨天緊急出面澄清，坦承廠務系統確實出現些微錯誤，但已迅速解決並恢復正常運作
，對產出沒有影響。不過，根據協助的設備商透露，美光的N2廠遭到汙染事件，比想像還
嚴重，到昨天為止還是全數停工狀態。
據了解，美國桃園廠N2十二吋廠這次發生氮氣汙染，主因是供應製程所需的氮化純化廠，
未做到純化氮氣，導致水氣滲入，再輸送到製程的生產機台，估數逾百台設核心生產DRAM
生產線遭到汙染，重創美光桃園廠DRAM生產線。
截至目前為止，台灣美光還不願對外公布受損晶圓及何時可重新復工。據設備廠推測，美
光可能能重新檢修桃園廠的氮氣純化廠，相關生產機台也必須檢修，恐非短期可復工。
稍早業界估算，美光這次N2廠區受汙染事件，除了產線上數萬片DRAM晶圓得報廢外，這座
晶圓廠月產能達六萬片，在復工期拉長的情況下，對DRAM產業供應，將有一定的程度的影
響。
集邦預估將影響全球約百分之五點五產能供應，對供貨吃緊的DRAM市場來說無疑雪上加霜
，現貨價格昨應聲上漲百分之二點六至三點二。
by早上收到的UDN電子報