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魏哲家：台積電7、5奈米領先全球 3奈米明年試產
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魏哲家進一步指出，今年18廠正加速5奈米的量產，台積電5奈米是業界目前最先進的製程
技術，跟7奈米相比，5奈米在速度上提升15%、功耗降低30%，邏輯密度可提升80%，5奈米
製程廣泛採用EUV微影技術，更加鞏固台積在先進製程的領導地位，公司計劃在2021年讓5
奈米的強化版技術進入量產，晶圓18廠是業界第1座生產5奈米的晶圓廠，也是全球最先進
的半導體晶圓廠。
談到業界關注的3奈米技術的進展。魏哲家說，這項製程具備創新的微縮特徵，跟上一代
速度可以提升15%，功耗可以降低30%，邏輯密度可以增加70%，3奈米預計於2021年進行試
產，2022下半年進入量產。同時，台積電也正在與客戶密切合作，定義3奈米之後下個主
要節點的規格進度。