http://www.chinatimes.com/newspapers/20150424000192-260206
ASML獲大單 家登帆宣分甜頭
在英特爾、台積電、三星等半導體大廠力拱下，極紫外光（EUV）微影技術成了延續摩爾
定律（Moore’s Law）的最關鍵技術。微影設備大廠艾司摩爾（ASML）繼獲台積電訂單後
，昨日再宣布獲美國大客戶至少15台EUV設備大單，EUV光罩盒（EUV Pod）供應商家登（
3680）、設備代工廠帆宣（6196）將受惠最大。
ASML宣布接獲一家美國主要客戶大訂單，至少採購15台EUV微影系統。該客戶預計將EUV技
術應用於未來先進製程中，支援其新世代產品的研發和試產，其中2台量產型NXE:3350B設
備預計於2015年底前完成出貨。而業界均指出，該大客戶就是半導體龍頭英特爾。
EUV技術已經成為10奈米以下先進製程能否勝出的重要關鍵，包括台積電、英特爾、三星
等半導體大廠都已表態支持，EUV被半導體業界視為能讓摩爾定律往下延續的重要關鍵技
術，可以讓晶片上覆載更多電晶體，同時降低晶片單位功能成本並提升能源效率。
台積電下單採購的2台NXE:3350B設備將在今年內完成出貨，已到貨的2台NXE:3300B也將升
級到NXE:3350B。台積電共同執行長劉德音在日前法說會中提及，台積電可能會在10奈米
及7奈米製程中，部份光罩層會改用EUV技術，因為EUV能夠簡化先進製程的製造工序，同
時達到提升良率和縮短生產時間的效益。
英特爾為了與台積電競爭，此次大手筆採購EUV設備，業界認為應會在2017年之後採用在7
奈米部份光罩製程。由於ASML的EUV產能有限，在台積電、英特爾相繼表態採購EUV設備後
，其它半導體大廠勢必會跟進卡位，而這也將加快EUV技術的成熟。法人認為，EUV相關設
備或材料供應商如家登、帆宣、漢微科等將成為最大受惠者。
在EUV生態系統中，家登是全球二家EUV Pod供應商的其中之一，而且又是台積電、英特爾
的重要光罩盒供應商，所以在台積電及英特爾啟動EUV產能建置之際，家登今年EUV Pod接
單接到手軟。家登第1季營收4.64億元，較去年第4季衰退7.6％，今年晶圓傳載方案接單
優於去年，家登看好營收將逐季成長到年底。
與ASML合作多年的帆宣，是其主要零組件或模組代工廠，而ASML今年將擴大委外代工，帆
宣受惠最大，並已成為EUV生態圈中量測設備主要代工廠，擠身ASML的Yield Star量測系
統供應鏈。帆宣去年每股淨利2.33元，將配發2元現金股利，第1季營收36.96億元，年增
14.0％淡季不淡，法人看好帆宣今年營收及獲利將雙創歷史新高。
comment : 好田頭，不吃嗎？