作者:
lion28s (風帆)
2025-01-18 13:12:31我以前曾在twitter看過一篇大神的文章分析過,由於我不是專業,有錯請指正
中國不是搞不出極紫外光,他們能能夠建造出同步輻射中心(台灣也有),同步輻射光源拿
來當EUV是綽綽有餘
不過同輻一座大概一個足球場大小,EUV一台大概一輛雙層巴士大小,這也是ASML最厲害
地方,它不是強在發明出光刻機,而是把光源技術用有效益、能商業化的方式做出來
不然每新增一條產線,旁邊先圈一塊地蓋光源,誰受得了
還有價格問題,蓋一座同輻要好幾百億,簡單來說,一台EUV機台,可能要解壓縮成好幾
百億工程+一塊足球場大小的土地
中國很久之前就有人在討論是不是拿同輻中心來改成晶圓廠,中國有四座,討論最多的是
合肥同輻中心,離中國的半導體產業聚落最近。這件事目前還沒做的主要是效益太低,就
像房間裡有蚊子,我他媽放個C4炸爛蚊子
哈工大這研究有可能他們有在考慮拿同步輻射用來生產晶圓,所以在研究要怎麼改良使用