以前碩班的實驗室算是做半導體實驗的,常常會做一些鍍膜、蝕刻...等等製程。
可能是鍍膜、蝕刻這類術語講起來冷冰冰的太不通人情。
做實驗溝通時常常會換成比較口語化的形容詞。
鍍膜常被說成"長膜"。而蝕刻就更不得了了,各式各樣的話語都有。
使用蝕刻液蝕刻金屬或氧化物時,常用「吃」這個動詞。
比如說要蝕刻金屬的話,就可以說「吃鋁」或「吃銅」。
有時實驗品用HF或硫酸蝕刻時,也會講「吃HF」或「吃硫酸」。
而用特定機台蝕刻的話,除了「吃」以外,也常用「敲」或「打」。
綜合以上規則,在meeting報告實驗流程時,
就可以看到大家一本正經地,講這種不倫不類的話:
「這邊會先長一層OOO,接著用XXX敲下去。
等剩下100微米時,再長一層OXO,最後用XOX吃乾淨...」
有時學長會矩手討論:
「為什麼你要用XOX吃?
建議你可以用XXX直接敲完,一勞永逸。」
最後教授會讚許似的點點頭,微笑說道:
「用XOX吃或XXX敲都很好,
但我更建議用OOX敲完再用XXO吃深一點,效果會更好」
眾人在感嘆教授智慧的同時,也對吃跟敲的了解又深了一層。
記得第一次參加meeting不了解,還以為實驗室是什麼牛鬼蛇神的地方。
一天到晚不是敲敲打打,就是吃鋁、吃銅亂吃東西。
有一天,某學長拿著實驗試片,愁眉苦臉的走進實驗室。
「怎麼啦,一臉賽樣」 眾人關心的詢問。
「唉,我這個製程想錯了,
應該還要先再長一層XXX,再鍍金上去。現在金已經鍍上去了...」
「那現在怎麼辦?」
「沒辦法啊,就只能把金吃掉去長XXX,然後再鍍金...」
「ok的,慢慢做啦」
某學長說完就拿著試片,準備去做實驗了。
這時剛進實驗室沒多久、做事積極認真又不恥下問的碩一學妹。
大概是想多學一些實驗技巧吧,
看著某學長走出去,急急忙忙的站起來對某學長大聲說:
學長! 我可以去看你吃金嗎?!
眾人都傻眼了,
只見某學長想都沒想,就說好啊。
把樣品泡在金蝕刻液中時,還一派輕鬆地對學妹說:就這樣吃,很簡單的。
而學妹也勤奮地寫下注意事項。