※ 引述《dreamdrink (無趣的生活~*)》之銘言:
: 最近對於半導體封裝有一些問題存在,所以來這請益:
: 查到的半導體封裝製程步驟:
: Die Saw => Die Bomd => Cure => Plasma Cleaning => Wire Bond => Molding =>
: Cure => Marking
: (1)那請問Bump製程是再哪一道製程中間?
: (2)另外,一般常見的IC都是由 Chip 四週做 Wire Bond
: 那它的Chip Bump製程是使用在哪?
: (3)是只有Flip Chip才會有Chip Bump製程嗎?
Bumpnig製程是只有flip chip package type才會有,例如FCBGA、FCCSP等等。
一般來說,bumping講的就是在鋁墊(包含passivation and PI)上sputter金屬材料UBM,
並且電鍍長上銲料,以Ti/Cu/NiUBM 為例,是sputter Ti/Cu,再電鍍Ni以及銲料
(電鍍Ni與銲料在同一台機台一起進行),bumping是在wafer開始封裝前的一個製程,
所以可以由封裝廠(ASE、SPIL)做,也可以由wafer厰後段製作。
flip chip和wire bond的assembly flow是完全不同的,如果是flip chip BGA,大概是
Die saw