最近要接觸到這塊領域
希望大家可以推薦...
希望:
1.越詳細越好,針對黃光段...如果對光阻顯影的機制 各家光阻品牌分析介紹
等資料更好
2.中 英文的書籍 ,兩者都需要
3.或者有板上高手, 用不上的書. 便宜出售給小弟也行.....
4.或者交個朋友, 一起互相研究!( 我有skype)
畢竟這種東西很無聊,又不得不學... 有人一起當聊天一樣討論
是很不錯的....我們也可以交換技能( 吉他, 電影...等XD)
目前身上有一本 好多年以前的 半導體微影技術
龍文安寫的
看起來是很詳細, 不過時代久遠
不知道值不值得再去買新版?
謝謝