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作者: F15 (F15) 看板: Electronics
標題: [問題] 曝光機 數值孔徑與同調度
時間: Sat Sep 6 22:41:25 2014
各位前輩好
請想問關於這兩個參數的問題
以及繞射的問題
1.
一道光垂直經過狹縫(光罩)
會產生繞射 主要會有0階 +/-1階
0階光應該會是這種情形
http://forum.phy.ntnu.edu.tw/wiki/images/8/8d/DSCF0628.JPG
如果根據惠根斯定理
將光源視為無限點光源則是這種情形
http://202.192.168.54/dxwl/2001dianzi/lecture11.files/image053.jpg
點跟點之間互相產生干涉
那我想問的是
所謂的+/-1階光 或者其他更高階光
指的是什麼意思呢?
2.
就目前知道 同調度(SIGMA)調高(同調性下降)
出射光的角度會變大
影響到的是0階 +/-1階的投射直徑
請問這個直徑代表什麼意義呢?
3.
請問有人能幫我詳細解釋 數值孔徑(NA)跟同調度(SIGMA)
對contrast 與 DOF的相關性嗎?
如果用打字的太麻煩
麻煩站內信手機給我 我再打過去跟您請教
已經研究很多天了 但還是問題很多
請各位幫幫忙 謝謝!!

你用幾何光學的思考當然想不通查 diffraction from single slit,在查 main lope寬度與波長的關係就會懂了

我也想知道3，有高手可以幫忙解答嗎

你要去查繞射或干涉條紋 繞射的話是同心圓條紋 0階的光是最強且條紋半徑最寬 1階的光強度就少0階10倍左右 以此類推遞減 詳細公式網路上都有 對比度就要是查定義 沒記錯是亮紋光強度/暗紋光強度 那個跟孔徑有關 公式應當有

1 似乎是傅立葉級數展開2 是指傅立葉轉換的空間頻率高都還給老師了XD3 同調性高的話 干涉的VISIBILITY會較高

他的問題不需要用富氏光學解釋 XD

http://ppt.cc/~TFU http://ppt.cc/qbAK

用傅立葉太殺了啦

太殺+1

1.參考高中單狹縫繞射 中央是0階 往外延伸是1階 2階…若用更進階的話來說 圓孔繞射大致上是sinc{x}的分佈

數值孔徑與……成反比