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ASML再獲台積電EUV訂單
2014-11-24 經濟日報 記者簡永祥╱即時報導
全球半導體微影技術領導廠商艾司摩爾今日在倫敦舉行法會宣布，達到成本效益的新一代
極紫外光（EUV）微影設備，已正式量產，並接獲台積電搶下二台訂單，訂明年出貨，為
台積電製程推進至10奈米以下取得關鍵的門票。
這也是艾司摩爾投入研發EVU機台的重大突破，同時是艾司摩爾10年來首次公開擘劃公司
成長策略艾司摩爾信心滿滿指出，未來六年，將是ASML營收躍升的黃金六年，預估2020年
，年營收將達到100億元歐元，每股純益更將三倍成長。
艾司摩爾稍早在台北國際半導體展（SEMICON Taiwan）中宣布，已接獲包括台積電、三星
及英特爾等重量級半導體廠11台EUV 訂單，其中有五台將於今年底到明年第1季出貨完畢
，其中台積電就率先下單二台第一代命名為NXE3300B的EUV機台，裝設在新竹進行研發。
艾司摩爾今日宣布更具成本效益的新一代EUV機量NXE3350B量產，而且台積電也是一只氣
訂購二台，預定明年第1季交貨。ASML也承諾將協助台積電將原二台NXE3300B EUV系統升
級到NXE3350B。