[請益] 離子槍用於PVD設備 shimizu PTT批踢踢實業坊

作者: shimizu (清水) 2014-12-13 00:13:25

請教一下
小弟最近剛接觸科技產業
拜訪一家在做光學鏡頭的公司說是採用PVD設備再搭配離子槍輔助
在玻璃上沉積
那一般半導體製程在晶圓的薄膜沉積也會用到PVD
裡面也有離子槍嗎??
謝謝!!

作者: zhanren (Ethylene Propylene) 2014-12-13 00:24:00

沒有

作者: nick00233 (Nick) 2014-12-13 01:16:00

作者: id49528013 (米蟲) 2014-12-13 01:39:00

離子槍好像也可以用在蒸鍍機？

作者: pinkowa (pinkowa) 2014-12-13 01:46:00

電漿<--- 濺鍍機

作者: hmtsung (--HUGO--) 2014-12-13 16:29:00

ion-Gun是助鍍用的，讓膜更結實，品質更好，不過要調參數

作者: shimizu (清水) 2014-12-13 21:41:00

所以半導體製程PVD有ion-Gun嗎?? 有大大私底下回信說有

作者: Swiss1003 (來杯咖啡) 2014-12-13 21:50:00

公司在南科嗎?

作者: fffkinyo (蒜頭) 2014-12-16 12:59:00

雷射蒸鍍

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