[請問]關於半導體類的sputter製程靶材 icurious PTT批踢踢實業坊

作者: icurious (衝) 2015-01-03 22:13:51

不曉得在這個板是否有人知道，在半導體製程中PVD製程裡的靶材要去哪家公司
購買呢? (ex : Au ,Ag ,In, Sn, Pt , ITO ,或是一些混合比例的靶材，如GaAs)
因為所需的量不大，只是小實驗室等級需求，所以還請
友知道這方面訊息朋友分享，謝謝。

作者: violin20599 (沁) 2015-01-03 22:20:00

高敦?

作者: raylo (阿睿) 2015-01-03 22:23:00

Google一下，滿多的

作者: pttresident (三省吾身) 2015-01-03 22:25:00

昇美達?

作者: Narcissuss (太神拉~) 2015-01-03 22:39:00

高蹲不是賣靶材的昇美達

作者: jenhong80625 (yaya) 2015-01-03 22:47:00

光洋應材或許有

作者: andy1120 (HunterAndy) 2015-01-03 22:51:00

铱光、銓科、嘉值企業是目前有買過的，google 濺鍍靶材

作者: marybrian 2015-01-03 23:09:00

帷晶

作者: z44447777 (lancer) 2015-01-03 23:29:00

昇美達+1

作者: faithjpk8213 (宅是一字跟我一世) 2015-01-03 23:34:00

銓科+1

作者: allan0803 (小倫) 2015-01-04 07:06:00

可以問問看優美科光洋應材新輔科

作者: five1502 2015-01-04 12:01:00

順便借問一下Shielding跟Dome作用是什麼呀@@

作者: maikxz (超級痛痛人) 2015-01-04 12:11:00

買過貴金屬的，邦傑比昇美達便宜一點

作者: longjer (龍蛇) 2015-01-04 13:01:00

罡鼎韋斯

作者: Narcissuss (太神拉~) 2015-01-04 13:11:00

尾司跟依光超貴感覺他們是跟別人叫貨

作者: mar0330lee (eric) 2015-01-04 13:29:00

光洋科有在賣，要注意靶材有分平面靶跟旋轉靶

量不大用借的就好了再貼錢給他(對方老闆同意)

作者: x1225088 2015-01-05 00:12:00

光洋應用有賣....

作者: zhanren (Ethylene Propylene) 2015-01-05 09:58:00

我看過銅靶材用日立的。

作者: juangpeiyi (給還沒有遇見的你) 2015-01-06 18:07:00

昇美達偉斯咕狗很難嗎

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