重回摩爾定律兩大武器 EUV＋三五族成大勢所趨
2016年04月05日 04:09 涂志豪／台北報導
英特爾在14奈米及10奈米製程推進出現延遲，已影響到處理器推出時程，也讓業界及市場
質疑：摩爾定律是否已達極限？不過，英特爾仍積極尋求在7奈米時代重回摩爾定律的方
法，其中兩大武器，分別是被視為重大微影技術世代交替的極紫外光（EUV），以及開始
採用包括砷化銦鎵（InGaAs）及磷化銦（InP）等三五族半導體材料。
摩爾定律能否持續走下去，主要關鍵在於微影技術難度愈來愈高。目前包括英特爾、台積
電、三星等大廠，主要採用多重曝光（multi-patterning）的浸潤式微影（immersion
lithography）技術，但當製程技術走到10奈米世代時，高密度的邏輯IC需要進行至少4次
的曝光製程，製造成本自然大幅拉高。
為了解決微影曝光製程的成本問題，半導體大廠近幾年已著手進行EUV微影技術的研發，
近一年來，EUV技術雖然有明顯突破，但在量產上仍未達到該有的經濟規模。不過，根據
EUV設備大廠艾司摩爾（ASML）的說明，今年若能將每日曝光晶圓產能提高到超過1,500片
，將有助於業界開始採用EUV技術。
英特爾已規畫在7奈米製程開始採用EUV技術，若是可以達到量產經濟規模，則英特爾可望
在7奈米世代重新回到摩爾定律的循環。至於台積電部份，已計畫在7奈米開始進行試產，
若一切順利，將可在5奈米世代開始導入EUV技術。不論英特爾或台積電，EUV量產的時間
點約落在2020年左右。
半導體材料也是延續摩爾定律的重要改變。英特爾已開始試著採用包括砷化銦鎵（InGaAs
）及磷化銦（InP）等三五族半導體材料，希望能夠在7奈米之後進行材料上的改變，只要
能重回摩爾定律的循環，英特爾的處理器發展策略就可回到二年循環的軌道。
台積電16奈米開始採用鰭式場效電晶體（FinFET）製程，而10奈米及7奈米世將延續採用
FinFET技術，而到5奈米之後，也已計畫更改半導體材料。據了解，台積電很有可能會在5
奈米世代採用InGaAs的三五族半導體材料，來維持摩爾定律的有效性。
http://www.chinatimes.com/newspapers/20160405000104-260204
作者:
Hateson (曾經滄海難為水)
2016-04-09 05:30:00一天一台1500片 一小時要run62～63片？
作者:
check (支票)
2016-04-09 08:19:00還在摩爾定律 記者對科技業的印象只剩過時很久的四個字
我怎麼記得我之前看過三五族沒辦法做在大尺寸wafer?
作者:
PYHsieh (蔡琴歌好好聽)
2016-04-09 10:33:00都快要進入量子的空間還在談摩爾定律?
作者: jqp9b 2016-04-09 11:15:00
摩爾定律那裡過時很久？ 10nm,7nm,5nm一樣走在這條路上
作者:
jjkobe (冷氣)
2016-04-09 11:43:00LED做磊晶的有救了
作者:
bbdd203 (雲飛‧克勞德)
2016-04-09 12:21:00三五族要看MOCVD的機台研發 跟非矽材拉晶技術我覺得最後什麼記者據了解的部分根本唬爛?矽基做5nm都還在想 就想做三五族那台積還賣大腸能給晶元電幹嘛說錯 是LED賣給晶元
我猜III-V族有可能是直接壘epi在矽基板上大尺寸用矽作為基材比較可行 經濟反正元件真正需要的部分也只是最頂上面薄薄一層沒必要整片都是III-V材料或是光電常用的藍寶石基板到時物理尺寸應該還是停留在7~10nm 改用"等效尺寸"
作者:
jjkobe (冷氣)
2016-04-09 14:22:00是用三五族來做通道而已，達成高電子電洞遷移率而已
作者:
HFET (紳士場效電晶體)
2016-04-09 16:28:00看到 III-V 只能ㄎㄎ惹
作者:
jumpout (我跳!)
2016-04-09 17:43:00台積還是有在弄LED 只是收回內部低調做(小聲)
作者:
bbdd203 (雲飛‧克勞德)
2016-04-09 18:51:00epi 的MOCVD都不知道有沒有支援到八吋了 怎麼可能?
作者:
dos1019 (.....)
2016-04-09 19:25:00不太相信小I N7可以換成三五
作者:
garyk (開學勒..)
2016-04-09 21:07:00三五gg都在量產了
作者:
loloman (吃飽的感覺真好)
2016-04-09 21:44:00林口穩懋要起飛了?
作者:
bbdd203 (雲飛‧克勞德)
2016-04-09 22:13:00八吋現在的黃光頂多撐到99nm 8吋的MOCVD機台也都還沒生產線化 怎麼曝N7?? 還是小弟知情的太淺?
作者:
mikye (麥奇)
2016-04-10 14:07:00八吋黃光曝到40nm以下沒問題在阿
作者:
bbdd203 (雲飛‧克勞德)
2016-04-10 21:44:00八吋現在只有量產的ASML S850看來可以做到約.10um (量產型) 小弟才疏學淺 想知道哪家的litho 八吋可以做到4x nm....剛多翻了些paper 除了E-bean//NIL可以做到4x nm 靠正常的litho 真的就只能到9x nm啊 小弟太過認真?