台積電中科十奈米晶圓廠環差 專案小組:送環評會
〔記者陳炳宏/台北報導〕
中科台中園區擴建基地(大肚山彈藥分庫用地)今天進行環差影響評估報告結論變更
審查會議,除開發單位中科管理局針對環團、環評委員各項質疑一一答覆外,進駐的廠商
台積電公司代表,也針對目前實作且領先國際的十奈米製程,詳細說明各項革命性污染防
治處理,最後專案小組以結論針對審核修正通過,送交環評大會。
此次環差報告主要是因,台積電運作化學物質與危害性化學物質項目與數量調整,所
以需要修改原環評說明書;其中管道排放物質清單,雖由原來152種增為182種,但經危害
確認後,具毒理資料可納入健康風險評估的物質,從原評估36種減少為32種;Group 2B以
上致癌物由原有乙醇、乙醛、砷、鎳四種,因製程改變的關係,變為砷、鎳、二氯甲烷、
三氯甲烷、及鈷化合物。
專案小組在結論中指出,本次變更營運階段使用的化學物質項目與數量,目前的健康
風險評估分析方法與步驟,大致符合健康風險評估技術規範的內容,不過須再補充增減運
作或衍生化學物質檢測來源濃度(含己測圖譜),以及暴露劑量、致癌、非致癌風險及風
險管理對策。
另外,結論中也要求,變更後放流水致癌風險及非致癌風險較變更前增加,應納入會
中討論所提鈷、顯影劑TMAH(氫氧化四甲基銨)處理回收設施等風險管理策略。
科技部中科管理局局長陳銘煌表示,此次台中園區擴建基地,範圍主要位於東大路旁
的軍方大肚山彈藥分庫用地,面積約53.08公頃,進駐廠商僅台積電與巨大機械,其中台
積電面積約32公頃,此次採用領先世界的十奈米製程,規劃先興建二座十二吋晶圓廠,其
中第一座已完工,目前工廠二十四小時運作中;第二座也已上樑。
陳銘煌指出,另一家進駐廠商為巨大機械,面積約1.56公頃,預計設立全球營運總部
、研發中心以及自行車博物館。
陳銘煌說,中科台中園區擴建基地原為104年2月6日通過,但因台積電原先針對二十
八奈米製程所提的環評報告,與後來十奈米製程採用更先進的技術,產生的化學物質項目
與數量與原說明書不同,所以申請變更。
http://news.ltn.com.tw/news/business/breakingnews/1875465
(自由時報 2016/11/03)