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台積電中科擴建案環差環評通過 明年展10奈米成果
〔記者楊綿傑/台北報導〕以台積電18吋晶圓廠為主要開發標的的中科台中園區擴建開發
案,今於環評大會通過,這將為台積電在10奈米製程技術龍頭地位上,保有與英特爾及三
星等國際大廠競爭空間。台積電資深處長莊子壽形容審查通過為「吃下定心丸」,並預告
明年就能讓大家看到成果。
擴建用地目前僅有台積電進駐,砸下大約5000億將發展10奈米至7奈米製程,原開發案就
已歷經環保署4次環評大會,於去年2月通過環評,當時結論提到可能使用或排放的化學物
質有152種,經危害確認後具毒理資料可納入健康風險評估有36種,不過台積電在園區第
一個廠完工啟用時提出化學品項目數量環差,將內容變更為化學物質有182種,納入健康
風險評估是32種。
雖有環團出席強烈反對,但台積電允諾除了化學品涉及到商業機密,無法公開,其他包括
空、水、廢等污染排放情形都願意公開,因此決議也要求中科局未來要定期檢查及不定期
抽驗廠商化學品使用查核及空、水、廢等污染排放情形,並作成紀錄留存,且空、水、廢
等污染排放情形應應於中科局網站對外公開,涉及自動連續監測結果更應即時公開,全案
宣告通過環差。
代表台積電出席的莊子壽會後說,為了發展10奈米相關製程,3年前就已開始準備資料,
環差能夠順利於大會通過,台積電像是吃下定心丸,不過量產時程關係到商業機密與客戶
資訊,目前不能對外透露,但莊子壽也說,希望2017年就能看到10奈米發展的成果。
(自由時報 2016/12/28)