有關CMP的機台~ KAEDA PTT批踢踢實業坊

作者: KAEDA (零秒出手) 2018-03-16 14:05:36

請問為何CMP的機台都在Fab角落或是邊邊角角的地方?
有些Fab甚至連CMP的區域都有獨立隔間,
幾乎沒見過像是T/F,Etch那種散落在Fab各區的~

作者: plocer (ff) 2018-03-16 14:14:00

不懂問這個要幹嘛??? 羨慕CMP?認真回答你...CMP因為機台需要供應Slurry!總不能機台散落FAB各個區域然後要廠務拉管拉的到處都是..

作者: jack21205 (仇笑癡) 2018-03-16 14:35:00

認真回你，太髒Residue embedded scratch 全都HL CMP就對了

作者: javis3021 (javis_hung) 2018-03-16 15:23:00

粉塵重啊，有無塵跟沒無塵一樣

作者: prsb (快轉量產吧～～) 2018-03-16 15:47:00

想一下CMP的用途，還有查slurry成分，應該就有底了

作者: sages (欠你錢) 2018-03-16 15:48:00

不要害廠務啦管跑來跑去的很麻煩唉

作者: agod2005 (~大頭~) 2018-03-16 16:40:00

認真回你太髒，湯湯水水怎麼能和真空器材放一起

作者: deltarobot (翻出來比大隻小隻啊) 2018-03-16 17:37:00

Emb先嗨賴TF吧

作者: ctainan (小銀回來了) 2018-03-16 18:06:00

Ebara 宣稱 dry-in - dry-out, 真的這麼神嗎?

作者: GUNDAM (鋼普拉) 2018-03-16 18:27:00

很早前兩大CMP商的機台就dry in dry out

作者: angerenergy (Mars) 2018-03-16 22:13:00

就算沒有完完全全dry out 那也是鎖在foup 裡啊 Ebara算不錯了啦

作者: bbbcccddd2 (沒人要的) 2018-03-17 03:22:00

豆豆磨來磨去……讓我想起這首廣告歌

作者: FK6819 (恨情人) 2018-03-17 21:45:00

因為CMP髒，對就是那種髒！

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