應用材料公司歡慶 Produce平台20週年紀念,Produce平台出貨量高達5000台;這套製造
系統協助製造全球幾乎所有的晶片,也就是說,目前全球幾乎所有電腦晶片,都是使用
Producer平台製造。
Producer平台於 1998 年 7 月推出,藉由將晶片的金屬層配線由鋁改為更理想的導體─
銅,協助晶片加快執行速度。
應材表示,Producer平台自 20 年前上市以來,已經處理過19億平方公尺的矽晶圓,面積
相當於30個美國紐約曼哈頓的大小,目前可支援從 180奈米 到 5奈米的 10 個技術節點
。
20 年來協助推動各項業界技術轉折,其中包括銅、應變工程、高介電金屬閘極、FinFET
及 3D NAND;現今 Producer 平台能夠專門配置組合,以因應摩爾定律不斷增加的挑戰。
這項轉變能協助業界提升並改善與摩爾定律有關的效能及功耗,然而其中也需要許多額外
的步驟,可能導致其成本過高而難以負擔。
為了提供協助,應用材料公司致力精進Producer 平台的每一項要素,讓客戶能以最低的
營運成本享有最高效能。
自此 Producer 平台成為業界主力,承擔了更多的工作任務,協助摩爾定律的推動,並促
使諸如筆記型電腦、智慧型手機及可穿戴電子裝置等的電子產品更加普及。
現今Producer 平台持續協助晶片製造商以全新方式構想及打造晶片。恭賀應用材料公司
對半導體產業推出最重要的製程系統之一 。VLSI研究公司執行長 G. Dan Hutcheson 表
示,應用材料公司推出劃時代的 Producer 平台,以此規模實現前所未見的成果,建立能
支援多代技術的高度彈性架構,並仍維持驚人的生產力。
Producer 平台原先是專為執行化學氣相沉積的單一製程系統,並成為業界標竿。這些年
來,應用材料公司不斷擴大平台的技術功能,包括蝕刻、選擇性移除及薄膜處理技術。現
今愈來愈多材料瀕臨傳統摩爾定律微縮的物理極限。
有鑑於此,應用材料公司跳脫元素週期表,率先發展之前很困難使用卻有助於持續改進晶
片效能與功率的全新材料。
Producer 平台正突破新挑戰,現今這平台可以做為一套整合式製程平台,也就是在同一
套真空系統中,提供諸如沉積與薄膜處理、沉積與蝕刻,或者是沉積與選擇性移除的多種
組合。(吳秀樺/台北報導)
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