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[請益] cryopump回溫問題

作者: andy82617 (andy)   2018-10-16 23:52:50
想請問cryopump回溫的方式？
是應該讓cryopump做regen後，等到1、2階溫度都回到正常溫度，在關掉regen嗎？
還是可以點purge就可以讓cryopump正常回溫了？
因為查詢原理後，對於回溫這個動作，不太知道怎麼操作，在麻煩板上的各位解答，謝謝
。
作者: air0909 (該走了由~~~)   2018-10-16 23:57:00
沒說明書 沒客戶可問嗎？相信鄉民是對的也…客服
作者: jason316 (Justin)   2018-10-17 00:02:00
做regen 才能回溫阿
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