想請教一下板上各位鍍膜高手，目前小弟遇上鍍膜的問題，一直無法解決，想請各位幫幫
忙！
小弟使用的是蒸鍍機台，鍍一般教少層數膜層厚度又不多的時候，基本上產品沒什麼問題
，但是如果鍍層數較多，厚度較厚的製程時候，會發生產品周圍有一層霧霧的狀況，較為
嚴重是左右兩側，上下則看狀況，所以想請教大大是否有碰過此種狀況，或者有什麼方法
可嘗試，感謝！
抱歉，小弟沒給其他資訊是小弟的錯誤
1. 小弟是是使用基板BK7，融石英， SF11等可見光鏡片 皆會有此現象。
2. 機台使用電子槍打鍍材(坩堝)，配合離子源助鍍。
3.鍍膜材料，sio2 ta2o5
4.鍍長製程前都會pm，所以腔體算是最乾淨的狀態。
5.真空為1.5e -5pa
以上，假設100*120大約周圍方形基板，為什麼都是周圍會這樣，但是中間卻無此狀況，
大約周圍1~2mm。
作者: yukiinsummer (夏季雪痕) 2018-12-19 09:37:00
機台種類 材料 產品性質都沒說 是要占卜哦
作者:
wkc0908 (彌生留)
2018-12-19 09:40:00該PM了 別浪費時間發文
作者:
sqt (深海)
2018-12-19 09:41:00雜質太多？的確可pm後看看
作者:
xarch (Leny)
2018-12-19 09:42:00可以去問算命的
作者:
wkc0908 (彌生留)
2018-12-19 09:43:00霧霧的是否電性差？
E-GUN的坩鍋可以換SIZE，另外要FIB之後才會知道結構問題因為霧霧的是啥材料覆蓋也不知道3D-OM + FIB + EDX 分析從表面，結構面與材料面著手 會有答案的
另外可以PM後用同條件下第一鍋 分不同台 如果還是有異常那可以初步排除機台問題 往其他地方找
作者:
Bmez (222222)
2018-12-19 10:49:00鍍率多少 基板上機前有沒有洗過 手拿片還是治具上片
鍍厚時速率是不是有加快? 大約>10 A/s?一是鍍率太高 一是薄膜有crystalized 基板溫度太高
作者: KFC007 (△Z x v x I ▲) 2018-12-19 11:29:00
真空度不夠，坩鍋又那麼小，怎麼可能鍍的均勻
作者:
gj942l41l4 (米食主義者)
2018-12-19 11:37:00覺得是真空度不夠+1
作者:
DHMdelta (心痛得像撕裂一般)
2018-12-19 11:42:00換一個更猛的pump?
作者:
ewings (火星人當研究生)
2018-12-19 12:05:00搞不好原PO只是菜研究生，鍍的是破片。有邊緣效應霧化很正常
作者:
qwqmmmm (qwqmmmm)
2018-12-19 12:18:00-5 有點蝦@@ 我們沒經費的實驗室至少-6耶
作者: H851 2018-12-19 12:30:00
反鍍
-5超髒的.....要馬腔體需要大清要馬換個夠力的turbo
作者: a19198431 (ray) 2018-12-19 12:44:00
Spin看看
作者:
asila (asila)
2018-12-19 12:49:0010-5Pa=10-7mbar,這樣的壓力不算高吧
作者:
Mysex (超強猛騎)
2018-12-19 12:54:00Turbo pump催下去
大家是不是都把bar看成torr...這真空很夠了打錯 是Pa
作者:
qwqmmmm (qwqmmmm)
2018-12-19 13:34:005X10^-7 mTor 是基本呀@@ 10^-8 是我們正常的值～所以-6bar 差不多喲* 5x10^-7 Torr
我有遇過霧霧的情況..我的情況是因為破真空氮氣噴太快導致腔體內的其他蒸鍍材料被吹飛至樣品上，然後基板又有加熱所以也附著得很好，我打過橫截面EDX確認過
作者: p1357949 (竹風踏影可以丟水球給我) 2018-12-19 20:58:00
冷卻時間不夠，太早破真空了
作者:
attented (一起鐵道之旅吧!)
2018-12-19 21:22:00說觀落陰的是沒經驗吧，這方面真的是經驗累積出來的
作者:
toNpppa (Johnny Cash the truth)
2018-12-19 21:27:00覺得這種討論可以多一點 蠻棒的XD
作者:
jesuschiu (jesus_chiu)
2018-12-19 22:08:00冷卻時間不夠，太早破真空+1
作者: yahcksh (魯蛇小妹弟) 2018-12-19 23:23:00
鍍厚的會 ,薄的不會 我猜是真空不夠或是鍍率突然變快沒發現
作者:
attented (一起鐵道之旅吧!)
2018-12-20 00:34:00看起來跟熱累積有關系，所以鍍厚才有，鍍薄沒有。冷卻機制的問題
作者:
nmjkluiop (nmjkluiop)
2018-12-20 03:56:00不同蒸鍍機 掰掰
作者:
jengmei (鄭小妹)
2018-12-20 14:44:00真空異常 pm吧
作者:
benden (20%/y的蝸牛)
2018-12-21 08:46:00U% 天缺， 先fine tune U%
作者:
FUNYUN (YUNYUN)
2018-12-21 19:29:00Pump在這種功耗大的情況不夠力