想請教一下板上各位鍍膜高手，目前小弟遇上鍍膜的問題，一直無法解決，想請各位幫幫
忙！
小弟使用的是蒸鍍機台，鍍一般教少層數膜層厚度又不多的時候，基本上產品沒什麼問題
，但是如果鍍層數較多，厚度較厚的製程時候，會發生產品周圍有一層霧霧的狀況，較為
嚴重是左右兩側，上下則看狀況，所以想請教大大是否有碰過此種狀況，或者有什麼方法
可嘗試，感謝！
抱歉，小弟沒給其他資訊是小弟的錯誤
1. 小弟是是使用基板BK7，融石英， SF11等可見光鏡片 皆會有此現象。
2. 機台使用電子槍打鍍材(坩堝)，配合離子源助鍍。
3.鍍膜材料，sio2 ta2o5
4.鍍長製程前都會pm，所以腔體算是最乾淨的狀態。
5.真空為1.5e -5pa
以上，假設100*120大約周圍方形基板，為什麼都是周圍會這樣，但是中間卻無此狀況，
大約周圍1~2mm。