作者:
newper (別當Google不存在)
2019-12-02 20:02:28因為離開晶圓廠有點久了
而且以前也不是黃光的
請教的問題可能很瞎
請多包涵
想請問7nm跟14nm用的光阻會不同嗎?
我以前的想法是跟機台比較有關
精度差異大的的機台可能搭配的光阻不同
或是我也是對的，因為7nm是跳了一個難度gap
只能適用全新技術的photo機台
理所當然光阻也不同?
作者:
Cramael (( ′▽`)-o█)
2019-12-02 20:27:00想知道這的通常是對岸人士，不過黃光這麼多道，同node就有不同光阻了，你還是直接問用每道用哪種光阻比較快
作者:
a810086 (乂佛手乂)
2019-12-02 20:36:00光阻有很多種，從前段到封裝各個製程都有不一樣的，光是封裝就有好幾種線路越細要求解析度肯定更高，其他請專業的前輩回答
作者:
hoyo992 (hoyo992)
2019-12-02 20:40:00你真的人認為在這能問到答案嗎
作者:
Cramael (( ′▽`)-o█)
2019-12-02 20:41:00以前是小整合的認知，光源、解析度、要檔蝕刻的量、正負光阻都會用不同光阻，這開發的時後都會評估
底片有分感光速度，7nm跟14nm製程光阻就算成分種類一樣，配比也會有差異
作者:
b777300 (su35s)
2019-12-02 20:51:00當然有差異，跟車零件的精細度是一樣的，只是一個是車刀硬度與精細度，一個是解析度與照射時間
不同製程要求的解析不同，感光成分一定也會有所調整，即便可能可以用，材料商肯定會跟你講成分不一樣，要加價賣你，除非製程本身很強，可以自己去抓參數
作者:
onlydo (onlydo)
2019-12-02 21:36:00EUV光阻跟一般光阻不一樣
作者:
maikxz (超級痛痛人)
2019-12-02 22:17:00直覺上不同光源會主要影響選用的成分，不同波長影響吸收
作者:
a810086 (乂佛手乂)
2019-12-02 22:33:00其實我更想問的是製程極限會不會不是發生在機台而是因為光阻做不到，導致後續3nm1nm碰壁
作者: qwe172839 (你何不食屎) 2019-12-02 23:02:00
全台灣搞不好還沒幾個人摸過EUV 怎麼可能問得到
作者:
CIIIO (郭+)
2019-12-02 23:05:00不同波長的光所需要的光酸不一樣
問這幹嘛? 要不要 dosage focus 一起講?
作者:
s869225 (只想自然醒)
2019-12-02 23:44:00問這問題真的很瞎
作者:
switch (pura vita!)
2019-12-02 23:49:00非EUV的7nm 跟 14nm光源都是193 immersion 差在多重曝光，光阻應該一樣或差不多，EUV 7nm 光源波長差那麼多，光阻當然不一樣。
作者:
si5111 (C大)
2019-12-02 23:56:00PIP 誰要跟你講
作者:
KaYan (六合童子吃屎)
2019-12-03 00:42:00PIP
作者:
ANava (只發優文)
2019-12-03 00:43:00學生作業自己做啦
作者:
gj942l41l4 (米食主義者)
2019-12-03 01:18:00應該是12樓講得那樣會因為感光速度有成份微調我碩班做25um和100um用不同PR耶，不過是厚度不是線寬
看你可憐 光阻正負會影響最小線寬 黏稠度也會剩下自己做功課
作者:
autoppp (☆㊣↖☯☁☁☯↘㊣☆)
2019-12-03 05:46:00其實一樣沒問題
作者: ARPG (聖劍) 2019-12-03 07:15:00
你每天站在GG大門口，開一看就知道了
作者:
motan (警察先生就是這個人)
2019-12-03 09:08:00奈米越小臉越黃，選我正解
PIP...而且同平台不同設備也可能有不同光阻搭配當然你要知道rough的答案就是不同
作者: snoopy790428 (snoopy) 2019-12-03 09:49:00
日光燈會越來越黃
作者:
abyssa1 (abyssa1)
2019-12-03 10:51:00應該可以用一樣光阻的去做 只是良率效能會很差 所以肯定會微調或大改配方 兩個製程客戶能接受的價格也不同 最適合的配方肯定不會一樣
作者:
bnd0327 (阿噗噗)
2019-12-03 11:38:00不同 layer 光阻就分好多種了，你問有沒有一樣的比較快
作者:
YTVW (YTVW)
2019-12-03 11:39:00double patterning
作者:
iFann (好餓餓餓.....)
2019-12-03 11:42:00光阻..問光阻商就好啦...光阻製程定下來後夭壽難換的
作者:
faniour (å®…å®…)
2019-12-03 13:31:00線寬、厚度、正負型、光源、機台、塗布都有影響光阻商願意調整多少，交期多急....連帶影響要大改還是盡可能調整成分比例去解決
作者: sky020488999 2019-12-03 15:18:00
當然有差 不然幹嘛花好幾十億買泡水機
作者:
catch27 (爆爆)
2019-12-03 18:38:00PIP