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台積電獲AWS白金認證
04:10 2020/01/01 工商時報 涂志豪
台積電（2330）在最新一期企業社會責任電子報揭露在環保節能上的重要進展，台積電獲
得可持續水管理標準（AWS）白金認證，不僅是全球第一家獲認證的半導體企業，更締造
史上最高分評鑑紀錄及全球最高分紀錄。
同時，台積電首創業界晶圓清洗機台熱水循環系統並已在Fab 18廠使用，簡單改造既有熱
水機台，有效減少熱水浪費，並省電1,400萬度。
為實踐綠色製造，並持續強化用水效率，台積電引進全球唯一可持續水管理標準（AWS
Standard），2019年年初以Fab 6及Fab 14第五期、第六期、第七期廠房為初期示範廠區
，2019年12月獲AWS正式授證，成為全球第一家AWS白金級認證的半導體企業。台積電114
分的評鑑結果，不僅超越白金級的80分認證門檻，亦締創史上最高分評鑑紀錄。
台積電建立縝密且系統化的可持續水管理組織，在驗證過程中，以整體流域為檢驗範圍的
AWS團隊，對台積電領先業界推出液中求銅再生系統、打造螢火蟲高科技綠色廠房、規劃
民生汙水回收使用於廠區，甚至攜手外部單位開發跨產業的綠能智慧水閘門，協助提升國
內農業灌溉效率等，皆給予高度肯定及讚賞。
台積電2019年領先業界打造「晶圓清洗機台熱水循環系統」，透過回收未經使用的熱水循
環利用機制，成功減少80％的熱水浪費，截至2019年11月已完成29組熱水設備改良，共省
下1,400萬度電。
供應晶圓清洗機台熱水的熱水設備，以往為避免管線內形成死水、造成雜質汙染，在機台
未運作期間，仍須不間斷的輸出熱水以確保管線通暢。為有效控管熱水設備用電量，台積
電營運技術委員會與機台承攬商攜手研發改良方案，利用「熱水循環」的概念，在原供水
管路加裝一道儲熱水槽，連接機台端未經使用過的熱水排放管路，有效回收未經使用過的
熱水。
現在改良後的熱水設備，將優先使用儲熱水槽內的回收熱水進行加熱，成功避免未經使用
的熱水直接廢棄的能源浪費。當儲熱水槽水量不足時，才由原供水管線進水，與回收熱水
混和後加熱使用；與回收熱水混和後的水溫亦較初始水溫高，減少加熱時能量消耗，加上
額外增設的回收管線保溫機制，雙管齊下讓回收過程的溫差降至最低，達成節能效益。
改良的熱水設備，經台積電研發組織驗證後，已優先在Fab 18使用，未來將由營運技術委
員會全面推廣至Fab 12、Fab 14、Fab 15等12吋晶圓廠區。經過使用分析，每台改良的溫
水設備依製程使用條件不同，可以節省約30％的耗能，自2019年1月起至11月，已節省
1,400萬度電，預計2025年以前將可省電1億度，持續邁向台積電2025年累積節電量28億度
的永續目標。
(工商時報)