半導體設備潔淨室機器人市場2020年達10億美元
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根據VLSI預測，自2015年以來，用於半導體製造設備的真空和常壓機器人(atmospheric robot)市場的複合年增長率為11.7％，預計到2020年將達到10億美元。無塵室機器人預測成長趨勢與半導體製造設備的長期增長率相同。
真空機器人和常壓機器人方面，從2015年到2020年，真空機器人的營收複合年增長率為19.9％，而常壓機器人的複合年增長率僅為6.5％。真空機器人強勁增長的部分原因是半導體製造的需求提高。
至於，機器人價格方面，真空機器人市場由一家供應商主導，因此價格趨於穩定。相比之下，常壓機器人的市場分散於幾個大型供應商而形成競爭激烈的環境，並使這些產品的價格承受壓力。
無塵室機器人方面，用於蝕刻工具（佔40％），沉積佔36％，其他工具佔24％，例如微影、離子注入、CMP、製程診斷和濕法加工。至於供應商（包括專屬供應商）主要來自北美（47％）和日本（44％），其餘9％來自歐洲和韓國。