[請益] PVD設備濺鍍材質限制 cocoplum PTT批踢踢實業坊

[請益] PVD設備濺鍍材質限制

作者: cocoplum (我愛可可) 2021-03-08 23:04:32

請問各位先進
我司有一台設備現在鍍膜成分主要是鍍氮化鈦或是氮化碳薄膜。
設備功能有弧靶、柱靶、中高頻電源供應器。
如將設備把靶材更換、氣氛更換，是否可以拿來鍍透明導電膜Al2O3、AZO、ITO之類的?
設備需要做什麼修改嗎? 設備工程師說這是不可能的??? 卻回答不出原因。
是否有設備商或是有經驗的相關先進，可以請益。

作者: pinkowa (pinkowa) 2021-03-09 00:04:00

1.問原廠 2.你應該是買了二手機，所以不敢問原廠。

作者: wzmildf (æˆ‘ä¸æ˜¯è˜¿èŽ‰æŽ§) 2021-03-09 00:09:00

自己的功課自己做

作者: johnyson (johnyson) 2021-03-09 00:27:00

以小弟個人見解，要更改機台run 其他製程，並不是簡單更改靶材氣體等材料就可以達成這麼簡單，以PVD來說，能量（generator)、真空度（pump）、靶材純度（target）與氣體流量控制(MFC)、副產物的清除(scrubber),外加一些細項更改，不是這麼簡單可以全部都考慮到的，半導體設備之所以難就是因為他的複雜度，我們一般設備人員很難有全面的資訊以及料件去改機，所以樓上的才會說找原廠，除非貴司能承受改機失敗所浪費的時間與費用，如果要省費用起碼也要找second source的廠商去評估吧！

作者: jim543000 (玄黃無極) 2021-03-09 01:47:00

你不會把target裝上去試嗎？會怕還敢買機器自己retrofit

作者: cxzdsa (cxzdsa) 2021-03-09 05:38:00

真的是該試一下看看效果，品質能接受不就可以了。

作者: Mysex (超強猛騎) 2021-03-09 07:18:00

自己的專案自己做

作者: tseng413121 (齊德隆東牆東槍) 2021-03-09 08:43:00

你肯定沒念過研究所

作者: x080944924 (a hao) 2021-03-09 08:44:00

自己不會試試看？

作者: vdfoty 2021-03-09 09:14:00

大一生？

作者: avgirl (~單身純情Big肥宅!!!~) 2021-03-09 12:04:00

484你公司老闆又在異想天開惹? QQ

作者: douge (樹大便是美) 2021-03-09 12:57:00

可以

作者: hyenhan (小彥) 2021-03-09 17:57:00

可以啦

作者: Ensoul (Ensoul) 2021-03-09 20:30:00

花錢請vendor retrofit啊用嘴巴問機台就自己會改好了嗎

作者: Keelungman (金坷拉是新世界的神) 2021-03-09 23:10:00

DC? RF?

作者: allen8694 2021-03-09 23:35:00

是在反串？！

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[請益] PVD設備 濺鍍 材質限制

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