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2021-07-31 05:17 聯合報 / 記者簡永祥／台北報導
擁有全球最先進製程的台積電南科十八ａ廠，前天晚間驚傳製程出狀況，部分產線停擺，
雖然台積電即時調度其他氣體供應，並強調對營運無造成顯著影響。但據供應鏈透露，截
至昨天傍晚，台積電廠務忙成一團，全力清理受汙染的氧氣槽，估計需花費三到四個工作
日才能讓生產作業恢復正常水準。
這也是台積電南科廠區在二○一九年一月發生光阻劑汙染事件後，南科廠區再度爆發製程
受汙染事件，且都是發生在最先進製程的主要生產重鎮，供貨對象都是國際知名大廠，事
件後續備受關注。
台積電發言體系昨天表示，南科十八ａ部分廠區來自廠商供應的氣體疑似受到汙染，但已
即時調度其他氣體供應。台積電強調，「為確保生產品質無虞，目前正進行嚴密後續作業
。此事件目前已知對營運並無造成顯著影響，後續將持續追蹤。」
不過，供應鏈消息證實，截至昨天下午，台積電南科十八ａ廠仍全力進行氧氣槽清理作業
，且將供應商全數擋在門外，由於氧氣是半導體製程重要供應氣體，台積電除了清理氧氣
槽、確保排除汙染，也需搶救其他包括爐管、物理及化學研發和蝕刻等重要製程設備，需
同步確認排除汙染源，在在考驗危機處理能力。
半導體業者表示，半導體製程高達七百多道，約有二百七十道需使用氧氣，涵蓋蝕刻、物
理及化學研磨，幾乎都是核心製程，且南科十八ａ是台積電最先進五奈米核心製程，目前
生產項目又是蘋果下世代五Ｇ手機要用的核心處理器和超微新一代處理器，此刻事件可說
是直中要害。
台積電昨淡化此事，強調未造成顯著影響。但據調查，清理氧氣槽需花費三到四天，且產
線停擺範圍相當大，相關設備供應商也被通知待命，配合全力搶救，以利盡速讓產線恢復
。
目前還無法確認台積電十八ａ廠此次因氧氣汙染造成的損失，但相關供應商已被通知今日
起減量供貨，預料影響不輕，但實際影響有待台積電進一步說明。
台積電二○一九第一季發生光阻液受汙染，受影響客戶包括蘋果、高通、輝達、超微、海
思、聯發科等重量級客戶，並造成單季營收短少五點五億美元，毛利率減少二點六個百分
點。這次十八ａ廠重要性更高，是台積電生產五奈米核心廠區。