IMEC主導SSTS永續半導體聯盟 預測IC價值鏈晶片製造對環境影響
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比利時獨立研究機構IMEC主導的半導體聯盟，攜手半導體設備和零組件企業等推進製程朝
向3奈米、1奈米開發，並把獲得的各種數據分享給半導體會員企業。IMEC與台積電（TSMC
）、ASML和英特爾等600多家企業和大學等建立了合作關係。
IMEC是全球領先的奈米電子和數位技術研究和創新中心，於10月28日表示，蘋果公司（
Apple）因產品熱賣，已參與由IMEC推動的一項新研究計劃SSTS（永續半導體技術與系統
）。
SSTS計劃旨在預測整個IC價值鏈中半導體晶片製造技術（能源消耗、化學品、材料、超純
水、溫室氣體如NF 3）對環境的影響，以及將相關組織群聚在一起進行技術開發。為了通
過使用具體可靠的模型和詳細的碳足跡分析，以減少IC製造過程中的環境負擔。
東京電子表示，不僅是製程改良，在成本方面對新一代EUV通過開發新一代EUV系統，力爭
在2025～2026年之前實現1奈米節點半導體的量産化。
其實，原材料領域對於半導體的製程開發來説，很關鍵且不可或缺。所以，IMEC展開與日
本大學及企業合作，例如：成膜技術的開發。還有，EUV的光阻劑方面，日本材料企業JSR
通過與IMEC的合資公司生産面向EUV的光阻劑，大日本印刷正攜手IMEC開發用於新一代半
導體的光掩膜。
未來，企業要在半導體相關産業之中生存下去，必須加強與IMEC等其他企業和組織的合作
，不斷探索未來技術的方向性。
　　
同時，半導體的綠色轉型也是重點。IMEC表示，許多公司設定到2030年總體淨零碳排的目
標。他們正在努力實現這一目標，但半導體製造缺乏2030年的碳排放數據。所以，IMEC發
揮作用並有能力提供這些數據，以準備支持半導體行業，有助於整個供應鏈都能碳足跡追
蹤並減少碳排放的目標。