[請益] 要用iline or gline

作者: mytaiwan (轉角遇到困難)   2022-10-21 15:55:06
求線上專業人員(目前小弟是研究生)
小弟研究背電極 光罩
目的是:在掃描電容顯微術中,背電極的面積大小會影響得到的微分電容訊號
那現在 9mmx9mm的光罩投影到晶背上,要用g-line還是I-line? (看了幾份文獻都沒提
到)工程師就說問指導老師,指導老師說問工程師
作者: transletum64 (六十四朔月)   2022-10-21 16:55:00
用immersion 閉著眼睛曝光就好
作者: Satansblessi (chaotic warrior)   2022-10-22 20:39:00
手刻啊! CD那麼大

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