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CMP後的檢測儀器AFM 白光干涉 跟？

作者: mytaiwan (轉角遇到困難)   2022-12-21 10:18:46
如題，這次是製程面試的工程師來了，他問我說CMP後的晶片我們還是要表面觀察，我回
答AFM 、白光干涉，工程師點了頭說 好 力學跟光學 但你漏了一項，我又無言了，版上
有人知道嗎？（不是TEM 、SEM也不是SIMS…)
作者: cityhunter04 (無聊的乖小孩 )   2022-12-21 10:56:00
自己的功課自己做
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