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[請益] 半導体 薄膜量測儀器

作者: asd9 (asd9)   2024-01-07 14:07:38
請問各位做半導体的先進
薄膜製程中，量測厚度的儀器
一般測厚儀 ，是用X-ray 和α step是嗎?
金屬(Ni/Cu...)和非金屬(SiO2、光阻)用的量測儀器有不同嗎?
國內有那些推薦的廠商?
謝謝幫忙告之!
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