半導體突破奈米 成大低成本研發埃米受矚目
2024/07/23 10:25
〔記者洪瑞琴／台南報導〕目前半導體製程主要是奈米等級，但產業界持續朝向更微小的
「埃米（奈米的 10 分之 1）」推進，國立成功大學材料科學及工程學系助理教授徐邦昱
團隊利用自行組裝的設備，發揮車庫創業精神，讓細小的半導體分子能自動整齊排列在奈
米溝槽內，可操作精度達到埃米等級，這項成果已發表在國際期刊，受到國際矚目。
研究成果發表在國際高分子領域的一流期刊 Macromolecules。團隊最自豪的是學生們靠
著自行組裝的便宜設備，研發最先進的技術。徐邦昱表示，在研發的過程中需要用到許多
先進儀器，但動輒上千萬元，在工學院與材料系的支持下，學生們以較少經費、自行動手
組裝設備。
團隊成員包括材料系碩士生，楊永平、何承泰、黃宇瀚及許子承，整個實驗室裡都是自行
組裝的設備，像是結合極低溫、微拉曼散射與可見光吸收3個系統的設備，市面上根本找
不到，即使有機會買到也要上千萬元，但團隊花了200萬元就組裝出來，而先進製程需要
用到的無光罩雷射微影系統，市售價格600到1000萬元，團隊則是花了20多萬元就組裝出
。
徐邦昱表示，目前半導體製程主要是在微小的基板上，依靠相近的原子晶格，透過高真空
磊晶設備控制長出晶體，再蝕刻提昇精準度，要讓細小的分子乖乖聽話，長在該長的地方
，很不容易，因此才需要價格昂貴的設備，營造潔淨單純的反應環境。目前已達到小於3
奈米（10億分之1公尺）的線寬精度，但持續推向埃米（10 埃米等於 1 奈米）精進，是
產業的必然，目前大家都在努力中。
徐邦昱說明，這項研究成果廣受國際注目的原因，在於打通了埃米級操作分子的多項技術
瓶頸，成功地大面積量化操作液相分子有序化磊晶。定量化控制複雜的分子間交互作用行
為，克服過往認為不可操作的分子運動，將材料的操作精度推進至埃米尺度。
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