CMP領域的各位先進大家好，
最近在研究CMP的重要性及未來的發展趨勢，同時也想深入了解如何制定slurry和clean的
配方。
目前有找到一份市場報告，但價格高達5000美元，
https://www.gii.tw/report/if1473283-cmp-equipment-consumables-market-analysis.
html
因此想請教各位先進，是否有推薦的CMP權威書籍或相關文獻可以參考？
先行感謝各位的寶貴分享，感恩！