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論文名稱: 改善氮化鈦阻障層與鎢插塞之化學氣相沉積製程 以降低其電阻率之研究
研究生: 林仲凱
指導教授:潘 扶 民
校院名稱:國立交通大學
系所名稱:工學院半導體材料與製程設備學程
網址:https://ir.nctu.edu.tw/handle/11536/74165
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