※ 引述《uranuswind (水瓶之風)》之銘言：
: 你待的imp怎麼跟我待的不一樣？小弟之前在Varian摸imp到去年為止大概有8年經驗，從
: 沒聽過imp爽的。如果只是純pm，而且是順利的情況下，大概才會像你說的，這是理想情
: 況喔，很多時候你光是一個rs測不過，你就知道了......imp在真空設備裡面算是難的，
: 而且危險度算高的，每個做imp的都覺得很賽.......
RS測不過XD 剛好Varian機台我也略懂一點點
不是先看RS機台有沒有漏點有的話去磨針頭或換針頭嗎?
RS機台沒問題的話
先看有沒有豬PE去改到dose trim
水阻值太低去換離子交換樹脂
在不行換A6 A8 A9板
確認wafer cooling有沒有問題
以上這些不用動真空
再來就是要動真空測漏
看到source glitch去換source
RS一直往上跑換profiler slit
v-curve確認x-tilt,y-tilt
差不多這幾招了啦
你摸Varian有8年請你摸著良心說看看這些很難?