※ 引述《HTCOneE5566 (LongLiveFor5566)》之銘言:
: 各位大大好,
: 常常聽到有人說fab端四大module就是超級屎缺,
: 怎麼比也就是挑個沒那麼臭的來吃,
: 以EE來說常見的排名好像是 etch = litho > diffusion = thin film...
: 很少看到以PE的的角度來看,同為難兄難弟,排名也是差不多嗎?
: 如果再細分module內如CVD、PVD、CMP等等,
: 有沒有個屎度power rank可以排阿,顆顆。
賽不賽不是看機台嗎
一般來說啦
ET=LT>DF=TF
DF有很爽的機台RTP 也有很賽的FUR 酸槽 操度FUR>IMP>RTP
不過怎麼爽都不會比那些少數只顧RS SFSCAN之類的量測機台的爽啦