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中國擬進口二手光刻機 核心材料依賴進口
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圖為中央處理器製造商AMD公司員工手持生產的芯片。(Getty Images)
【大紀元2020年10月01日訊】（大紀元記者李淨綜合報導）中國大陸一家高技術公司近日
擬進口一台二手光刻機，令該公司股價大漲，還帶火了整個板塊。不過，中企即使擁有了
光刻機並不意味著就解決了斷「芯」困境。
9月29日，晶瑞股份早間發布公告，該公司擬進口韓國SK Hynix（SK海力士）的ASML光刻
機設備，總價款為1,102.5萬美元，約合人民幣7,523萬元。
另外，晶瑞股份也披露了其擬發行不超5.5億元人民幣可轉債，用於集成電路製造用高端
光刻膠研發等項目、補充流動資金或償還銀行貸款。受該消息影響，晶瑞股份股價上漲
19.99%。
《證券時報》報導，晶瑞股份此次擬購買的光刻機並非可生產5nm、7nm芯片的先進EUV光
刻機，且後續仍存交貨等不確定性因素。
晶瑞股份方面表示，現在光刻機設備並不好買，公司並不是直接購買ASML的光刻機設備，
而是通過代理商購買韓國SK海力士的一台ASML二手光刻機設備。其購買的光刻機類型是
ASML的1900型號的光刻機。
晶瑞股份是一家微電子材料的平台型高新技術企業，圍繞泛半導體材料和新能源材料兩個
方向，其子公司蘇州瑞紅為大陸光刻膠領域的先驅。
中國高端光刻膠依賴進口
光刻機的核心材料是光刻膠，中國對於高端的KrF、ArF光刻膠主要依賴於進口。
據晶瑞股份在可轉債發行可行性分析報告中披露，所研究的光刻膠項目，技術指標和工藝
性能滿足45~14nm集成電路技術和生產工藝要求。即該公司所研究的光刻膠項目，產品最
高可用於14nm芯片生產。
光刻膠是國際上技術門檻最高的微電子化學品之一，是半導體集成電路製造的核心材料。
光刻膠的質量和性能是影響集成電路性能、成品率及可靠性的關鍵因素。
半導體用光刻膠市場上主要使用的光刻膠包括g線、i線、KrF、ArF四類光刻膠，其中g線
、i線光刻膠主要用於6英寸芯片的集成電路製造。晶瑞股份的i線光刻膠產品已供應中芯
國際使用。
中芯國際遭制裁後 進口光刻機高端改低端
目前，主流前道光刻機主要分為i line光刻機、KrF光刻機、ArF光刻機、ArFi光刻機和
EUV光刻機，其中技術含量最高、價格最貴的當屬EUV光刻機。不同型號的光刻機，使用配
套的光刻膠。
中芯國際於2018年向荷蘭ASML訂購了一台最新型的EUV光刻機，價值高達1.5億美元，原計
劃在2019年初交付。不過，由於受到美國的限制，這項交易至今仍未完成。
今年3月，中芯國際從荷蘭進口的大型光刻機進入深圳廠區。但是，到貨的是低端DUV光刻
機，而不是之前購買的EUV光刻機。
中共掀起「芯片大躍進」
近期，中共在全國掀起了一場芯片企業投資狂潮，欲傾全國之力投資芯片產業，並在稅收
、IPO和貸款方面給半導體企業「開綠燈」。
大陸媒體的報導顯示，截至9月初，中國大陸已擁有了138,000個註冊的芯片設計公司，其
中大多數是近期成立的。各路利益集團盯著這個政策紅利，爭取政府的補貼。
大紀元評論員譚笑飛認為，中國沒有高端芯片產業，不是錢的問題，也不是人的問題，而
是中共官僚體制的問題。現在中國但凡高端一點的東西都依賴進口，基礎產業極其薄弱，
沒有工業體系可言。這是中共官僚體制的惡果，而且冰凍三尺非一日之寒。
責任編輯：李穹#