台積製程 叩關10奈米以下
【經濟日報╱記者簡永祥／台北報導】
2014.11.25 03:56 am
全球半導體微影技術領導廠商艾司摩爾（ASML）昨（24）日宣布，新一代極紫外光（EUV）
微影設備已正式量產，並接獲台積電訂單，預計明年出貨，為台積電製程推進至10奈米以
下，取得關鍵的門票。
艾司摩爾指出，因應消費市場對於電子產品多功能、小尺寸、低耗電的要求愈來愈嚴苛，
半導體產業持續追求電晶體製程微縮，台積電取得跨足10奈米以下先進製程最關鍵的極紫
外光（EUV）機台，擺脫半導體摩爾定律可能受到的物理極限限制，成本還有再下降空間
，未來將持續用來生產高通、蘋果等大客戶高階晶片。
據了解，台積電購買的EUV量產機台，初期仍投入用於12吋晶圓10奈米製程，未來考慮導
入在18吋晶圓上。
台積電10奈米製程已與超過十家客戶合作進行產品設計，包括手機基頻、繪圖晶片、伺服
器、遊戲機及可編程邏輯閘陣列（FPGA）等領域，規劃明年底試產，預計2016年底可望量
產。
半導體業者表示，一套EUV系統要價9,000萬歐元，被譽為是「半導體設備中的鑽石」，由
於造價昂貴，也為進入尖端半導體製程築起高牆。
據了解，除台積電外，三星、英特爾、IBM也是向艾司摩爾下單EUV機台的「大戶」，這些
公司將同時取得進入10奈米以下世代製程的門票。這是艾司摩爾投入研發EVU機台的重大
突破，該公司指出，未來六年，將是ASML營收躍升的黃金六年。
網址:http://udn.com/NEWS/FINANCE/FIN3/9087793.shtml
作者:
arrenwu (鍵盤的戰鬼)
2014-11-25 21:48:00什麼系統是半導體設備中的菁英
作者: shootenergy (國王白大甲蟲) 2014-11-25 21:48:00
洗洗睡惹啦 三星打趴囉
作者:
cpz (我是閃亮亮的鑽石)
2014-11-25 21:49:00台中又要起飛惹 爽~~~ 我的西屯房子房價又要噴惹
作者:
kopiayu (kopia)
2014-11-25 21:49:00為什麼能突破物理限制啊，外星科技嗎
作者:
mecca (咩卡)
2014-11-25 21:49:00作機台最賺
作者:
eiw123 (阿克西斯教信徒)
2014-11-25 21:49:00OBOV:
作者:
Q00863 (阿棋)
2014-11-25 21:49:00現在要靠ASML了
作者:
KCKCLIN (新的開始)
2014-11-25 21:49:00夜鶯部隊就台灣
作者:
kira925 (1 2 3 4 疾風炭)
2014-11-25 21:49:00EUV與衝破摩爾定律無關阿....
作者:
ams9 (大發利市)
2014-11-25 21:49:00台積最近是怎樣？新聞爆多耶
作者:
Kietiary (艾芬格萊斯)
2014-11-25 21:50:00抓緊啦 GG要起飛惹
作者:
gonghigh (Justin lee taiwan李宗瑞)
2014-11-25 21:50:00obov: QQ
作者:
Biboy (栗子)
2014-11-25 21:50:00一直放話感覺怪怪的...
作者:
mecca (咩卡)
2014-11-25 21:50:00應該是要挑戰前高222
作者: lahiboy (一旦放下就是全部) 2014-11-25 21:50:00
台灣最怕的就是...... 地震！
作者:
voodist (小蟲)
2014-11-25 21:51:00最爽的是ASML....
作者:
Refauth (山丘上的長號手)
2014-11-25 21:51:00不是聽說幾奈米以下就會遇到瓶頸？
作者: agong (agong) 2014-11-25 21:51:00
一台9000萬歐元
所以要怎麼突破10nm以下的量子穿隧效應?跟微影有關嗎
作者:
Q00863 (阿棋)
2014-11-25 21:52:00一套9千萬歐元
作者:
wyyoung (新的開始)
2014-11-25 21:52:00asml asml asml 最高
作者:
Q00863 (阿棋)
2014-11-25 21:53:00之前不是說28nm卡關卡了不久?不少時間
作者:
GeeDuTu (基督徒)
2014-11-25 21:53:00ASML到底是啥外星科技...
作者:
Q00863 (阿棋)
2014-11-25 21:54:00intel:
作者: vul310 (小班) 2014-11-25 21:54:00
夜鷹計畫成功了嗎!?
作者: winters (明天重新再來^^) 2014-11-25 21:55:00
28卡關的是UMC, 最近不曉得破關了沒?
作者:
Q00863 (阿棋)
2014-11-25 21:58:00賣一台可以買10動帝寶
一台成本 可能才1000萬歐元。做設備好賺。應用材料表示：請關注我們，好嗎
作者:
aa97531aa (aa97531aa)
2014-11-25 22:18:00五樓悲劇 …………
作者:
cms6384 (生死有命)
2014-11-25 22:32:00台積電要飛天啦!!!