很多人酸193奈米 不過這是整部片少數比較正確的資訊
193nm ArF 是DUV採用的光源
光源193nm 不代表 只能做到193奈米製程
事實上台積電不用EUV也可以做到7奈米製程
退一步說 現在最先進的EUV 光源是13.5nm
但是可以做到5奈米 3奈米甚至更低的製程
真正的關鍵公式是萊利公式
CD=k1 x ( λ / NA)