中時
中微半導體5奈米刻蝕機通過台積電驗證
https://www.chinatimes.com/realtimenews/20181218003298-260410
解放日報18日報導，近期大陸的中微半導體自主研製的5奈米等離子體刻蝕機經台積電驗
證，性能優良，將用於全球首條5奈米製程生產線。
報導稱，5奈米相當於頭髮絲直徑的二萬分之一，是積體電路製程工藝最小線寬。台積電
宣布2019年將進行5奈米制程試產、預計2020年量產。
根據國際半導體產業協會資料顯示，2018年第三季，中國大陸半導體設備銷售額首次超越
韓國，預計2019年將成為全球最大半導體設備市場，包括中微半導體、北方華創在內的大
陸設備廠商有望提高設備滲透率。